日本電子

日本発のグローバル企業で、理科学計測機器や半導体関連機器、医療機器、産業機器などの幅広い精密機器の研究開発・製造・販売を手がける日本電子。ここでは、同社が展開している主な原子力顕微鏡(AFM)をご紹介しています。

日本電子の主な原子間力顕微鏡(AFM)のプローブ

日本電子が取り扱う原子力顕微鏡の中から、「JSPM-5200」と「JSPM-4610A/S」の2機種をご紹介します。日本電子では、スペックの異なる計6種類の走査形プローブ顕微鏡を展開しています。

※2024年4月現在、日本電子では全ての走査形プローブ顕微鏡の生産を終了しています。生産再開の見通しについては、日本電子まで直接お問い合わせください。

JSPM-5200 走査形プローブ顕微鏡

コンタクトモード、AC モード、ノンコンタクトモードの3種類のAFMモードが標準搭載され、試料の性質や調査目的に応じて自由に選択が可能。深針の先端が試料表面に接触させず、高分解能での試料観察を実現します。

多彩な測定モードも搭載されていることから、試料表面の形状のみならず、様々な物理量の測定にも適応。オプションを追加すれば、表面電位や粘弾性像、磁気像などの測定も可能です。

測定手順は試料をセットするのみの簡単操作。大気中だけではなく、真空中やガス雰囲気中、液中など、動作環境を選びません。

「JSPM-5200 走査形プローブ顕微鏡」の対応スペック

• 分解能：AFM　原子分解能 (Contact Mode 時マイカ原子像)
• システムドリフト量：0.05nm/s以下　ドリフトフリーステージ
• 走査範囲：X,Y　0～20µm (標準スキャナ)・分解能 25bit (オフセット含む)／Z　0～3µm (標準スキャナ)・分解能 21bit (×32 ゲイン時)
• 試料サイズ：最大50mm×50mm×5mmt

参照元：日本電子公式HP（https://www.jeol.co.jp/products/scientific/spm/JSPM-5200.html）

原子間力顕微鏡(AFM）
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JSPM-4610A/S 超高真空走査形プローブ顕微鏡

10-8Paという超高真空環境においても、水平分解能0.14nm、垂直分解能0.01nmという高分解能を実現。試料表面の凹凸の正確な観察はもちろんのこと、吸着プロセスの観察、積層構造における電子密度分布、高温下・低温下での相転移、原子間力顕微鏡法(AFM)、走査形トンネル電子分光法(STS)など、多岐にわたる応用が効いた高拡張性を持つ顕微鏡です。

シリーズにSTM専用機とAFM/STM両用機の2種類。両用機は、プローブの交換でAFMとSTMを切り替えられるため、幅広い試料の測定が可能です。導電性カンチレバーを用いれば、AFMとSTMで同時に観察できます。試料パーキングステージには試料ホルダを最大2個まで装着可能。

「JSPM-4610A/S 超高真空走査形プローブ顕微鏡」の対応スペック

• 水平分解能：原子分解能
• 垂直分解能：原子分解能
• X、Y粗動（試料移動）：±1mm
• スキャンサイズ：XY=10um、Z=2.7um
• 走査可変範囲：0～10um
• 試料サイズ(H×W×T)：最大8×7.7×2mm

参照元：日本電子公式HP（https://www.jeol.co.jp/products/scientific/spm/JSPM-4610.html）

原子間力顕微鏡(AFM）
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日本電子の特徴

日本電子は、1949年に創業した各種精密機器等の大手メーカー。理科学計測機器、半導体関連機器、医療機器、産業機器などの研究開発、製造、販売、保守など、各種機器に関連する幅広いサービスを提供している会社です。

「科学の力で未来をもっと豊かに」をモットーに、グローバルに事業を展開。海外拠点は24箇所、海外売上比率は70.7％など、国内よりもむしろ海外を主要マーケットに事業活動を行っています。

同社の取扱製品は、国内外で開催されている様々な展示会やイベント、セミナー等で目にすることが可能。展示会等の予定は、公式HPで随時公表しています。

日本電子の会社情報