ソフトワークス

ソフトワークスが提供する原子間力顕微鏡は、コンパクトで場所を取らないのに加え、ナノレベルの測定を行えるのが特徴です。ここでは、リフトワークスが手掛ける原子間力顕微鏡について、わかりやすくまとめています。顕微鏡を探している方は、ぜひ参考にしてください。

ソフトワークスの主な原子間力顕微鏡(AFM)

ソフトワークスが提供する原子間力顕微鏡は、サイズがコンパクトで機能性に優れているのが特徴です。測定モードは多種そろっており、導体から絶縁体までコーティングなしで、ナノレベルの測定を行えます。

ここでは、ソフトワークスの2つの製品について詳しく紹介していきます。ぜひ参考にしてください。

ハンディAFM

ハンディAFMは、圧倒的な分解能を誇る顕微鏡です。隠れてしまいがちな微小な現象を測定可能です。超小型な顕微鏡で、サイズは奥行と幅がともに15cmとなっています。

SEMや高倍率の3次元高額顕微鏡の代割に使用できるのも特徴です。検査ヘッドは、高分解能もしくは広域タイプの2種類から選択でき、交換もスピーディーに行えます。
プローブの交換は数秒ででき、交換後の調整は不要です。

また、カーボンナノチューブプローブもオートアプローチが可能です。スキャンに、特許取得が済んでいる電磁スキャナーを用いると、スキャン時にワークを移動しなくても済みます。

測定検査例には、ソーラーセルや炭化珪素薄膜、量子ドット、シリコンウエハ、プローブ痕 ICパターンが挙げられます。

「ハンディAFM」の対応スペック

• 走査ヘッド： 高分解能型・広域走査型
• 最大走査レンジ：高分解能型10μm ・広域走査型110μm
• Zノイズレベル：高分解能型40ｐm・ 広域走査型90ｐm

参照元：ソフトワークス公式HP（https://www.softworks.co.jp/PDF/1_14products.pdf）

このほか、当サイトでは製品開発や基礎研究、品質管理のための「原子間力顕微鏡(AFM)3選」を紹介しています。以下のリンクもご参考ください。

原子間力顕微鏡(AFM）
＜3選＞紹介ページをひらく

オープンAFM NS-100

原子間力顕微鏡であるオープンAFM NS-100は、大気中にてナノメートル以下までの３次元測定を行える顕微鏡です。

サンプルを傷つけずに測定可能で、電磁スキャナーの使用により、長期に渡って安定測定が可能となりました。経年変化を気にする必要もありません。

ステージ付きでワークを切断せずに、サンプルセットのみで非破壊にて測定可能です。

測定モードは多種そろっており、高価なAFM装置と同様の機能を有しているのが特徴です。測定ワークの材質に関係なく、導体から絶縁体までコーティングなしで、ナノレベルの測定をすぐに行えます。

測定検査例には、PTFE膜や蒸着薄膜面、共重合体 原子ステップ、ナノグリッド 、ICパターンが挙げられます。

「オープンAFM NS-100」の対応スペック

• 走査ヘッド： 高分解能型・広域走査型
• 最大走査レンジ：高分解能型10μm・広域走査型110μm
• Zノイズレベル：高分解能型40ｐm・ 広域走査型90ｐm

参照元：ソフトワークス公式HP（https://www.softworks.co.jp/PDF/1_11products.pdf）

当サイトでは、原子間力顕微鏡(AFM)と、そのほか研究現場で主流となる顕微鏡の特徴を比較・紹介しています。製品開発や品質管理のルーティンワークに、どの装置が適しているかを知るための参考に、ご一読ください。

原子間力顕微鏡(AFM)と
既存の顕微鏡の比較をみる

ソフトワークスの特徴

静岡県浜松市に本社を構える「ソフトワークス株式会社」は、平成3年に設立された企業です。

ワイヤボンディングの外観自動検査や半導体インマーク自動認識装置、X線によるLiイオン電池内部自動検査装置、半導パターンの欠陥検査装置、液晶パターンの欠陥検査装置の開発事例を有しているのが特徴に挙げられます。

同社は「テーマ＝条件」に対して、解決法＝画像処理ソフト開発を考えている企業です。照明などの光学系や機械系の検討からはじめ、機械系とのインターフェイス、技術系コンサルタントから具体的な画像処理ソフトの開発まで手掛けています。

ソフトワークスは画像処理などソフト開発を通し、顧客の掲げるテーマや夢を叶えるため、さらなる技術開発に挑戦しているのです。

ソフトワークスの会社情報