セイコーインスツルメンツ

セイコーインスツルメンツは、走査型プローブ顕微鏡システムを用いて、微小領域の表面形状観察や電気・機械物性計測が可能な機器を開発しています。同社の開発した機器や特徴について見ていきましょう。

セイコーインスツルメンツの主な原子間力顕微鏡(AFM)のプローブ

セイコーインスツルメンツは、走査型プローブ顕微鏡を取り扱っています。探針と試料表面の間に働く様々な物理的相互作用を検出する他、微小な領域の表面計上観察などを行える装置を展開。物理的相互作用として原子間力、摩擦力、静電気力などがあげられます。

また、大気中、真空中の様々な環境での測定もできるのが特徴。導電性や絶縁性を問わずに試料表面の観察が可能であり、フォーカスマッピング測定や機械物性マッピング（弾性率像、変形像、吸着像、散逸像など）を取得できます。

超高真空低温走査型プローブ顕微鏡システム USM1200

超高真空中で試料の前処理とプローブの清浄化を行いながら、低温下でのSTM・AFMが原子・分子レベルでの分解能で観測できるのが特徴の機器です。近年広がりつつある応用範囲に対応するため、新たなプローブや付属装置も完備。

ヘリウム温度までの計測に幅広く活用できる他、操作性が良く、安定性に優れている点も特徴です。まさに環境を選ばず活用できる場面が広いと言えるでしょう。

レンズステージを用いた光照射や、各種発光測定に最適とされており、In situ 蒸着用ポートが2か所あります。原子・分子の低温蒸着・吸着にも対応可能。10日以上のLhe保持や、連続STM測定、1日に1ℓ以下のLhe消費といった点も強みの一つです。AFM各機能への応用 (MFM・KFM・SCMなど)にも使えます。

「超高真空低温走査型プローブ顕微鏡システム USM1200」の対応スペック

• 最大スキャン範囲 (X×Y×Z)：1.7×1.7×0.54μm3 @ 5K
• 分解能：原子分解能
• 到達温度：5K
• 真空度：観測室・処理室共に 3.0×10-8Pa、導入室 1.3×10-5Pa
• STMコントローラー：Nanonis™ SPMコントロールシステム
• AFM機能：チューニングフォーク式NC-AFM

原子間力顕微鏡（AFM）
＜3選＞紹介ページをひらく

超高真空走査型プローブ顕微鏡ユニット ST100

コストパフォーマンスに優れた、超高真空常温SPMとして開発されている走査型プローブ顕微鏡システムです。コンパクトな設計のため置き場所に困らず、構造もシンプルなため扱いやすいのが特徴。優れた除振機構を備えており、高分解能なSPM測定が簡単に実現できるのが特徴です。

超高真空下であっても、SPMのために必要な機能だけを備えたシンプル設計となっており、観測室部分のみを顧客の真空システムに組み込む…といった柔軟な対応も可能です。どのような用途で使用したいか、気軽に相談に応じてもらえます。

STM観測位置での試料表面への金属や有機分子蒸着および、光照射可能といったオプション機能もついています。超高真空中・常温での原子分解能STMおよび、その応用を用途として想定しています。

「超高真空走査型プローブ顕微鏡ユニット ST100」の対応スペック

• 最大スキャン範囲 (X×Y×Z)：4× 4×0.8μm
• 分解能：原子分解能
• 真空度：観測室・処理室：1.3×10-8Pa、導入室：1.3×10-5Pa
• STMコントローラー：Nanonis™ SPMコントロールシステム
• AFM機能：チューニングフォーク式NC-AFM

原子間力顕微鏡(AFM)と
既存の顕微鏡の比較をみる

セイコーインスツルメンツの特徴

セイコーインスツルメンツは、電子デバイスや高機能材料をはじめ、各種プリンターや工作機械、高周波スピンドル、精密切削部品など…多岐にわたる産業用機器・ソリューションを開発・提供してきた会社です。IoTデバイスから放射線・理化学測定機器にいたるまで、これまでに開発してきた機器は多種多様。様々な企業と場面のニーズを把握したサービスを提供しています。

テクノロジーの急速な発展やグローバル化、気候変動といった様々な情勢を経て、消費者のニーズや価値観も多様化している現代の流れを汲み取りながら、「匠・小・省」を技術理念として掲げ、小型・低電力消費・高精度・長寿命化といった要素を満たすソリューションや機器の開発に注力しています。

セイコーインスツルメンツの会社情報